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高溫電(diàn)爐多晶矽生產工藝

作者: 發布時間:2022-02-25 瀏覽次數:943
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高溫電爐生產多晶矽的核(hé)心設備,其采用鍾罩式反應(yīng)器高溫電爐,將混合後的SiHCl3和H2從反應(yīng)器底部的眾多噴口噴入,SiHCl3和H2反應,非均向成核生成多晶矽沉積(jī)在矽芯表麵(miàn),逐漸長大成矽棒(bàng),生長過程中矽棒(bàng)表麵溫度1050~1100C。在(zài)非均(jun1)向成核進(jìn)行的同時,SiHCl3和H2也(yě)發生(shēng)均向成核反應(yīng)生成無定型矽粉,反應的(de)程度主要取決於溫度、配(pèi)比等方麵的因(yīn)素。為避免均向成核產生大量的矽粉,流體采(cǎi)用混流,即噴嘴引入冷物流持續噴向高溫(wēn)的矽棒表麵,避免局部溫度過(guò)高引發爆(bào)米花和大量矽(guī)粉的產生,這種模式也決定了還原爐噴口直噴、氣流底進底出的現有模式。也正(zhèng)因為此,高溫進料(liào)(進料溫度高會引起大量矽粉)及平推式反應模型(比如噴口完全側噴、氣流底進頂出)都是會失敗的。

  高溫電爐流體力學模擬是個複雜的計算過程,小編為了簡化說(shuō)明問題,把複雜的計(jì)算和抽象的模擬舍棄,僅以幾個(gè)氣體射流基本公式來推理噴口流速的合理取值。

  氣體射流是(shì)流體力(lì)學基本的模型,當氣體從孔口或管嘴以一定的流速(sù)噴出後,由於射流為紊流流態,紊流的橫向脈動造成射流與周圍氣(qì)體發生動量交換,從而把(bǎ)相鄰的靜止流體卷吸到射流中來,兩者一起向前運動,於是射流的過流(liú)斷麵沿程不斷擴大(dà),流量不斷增加。


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