隨著現代微電(diàn)子技術的(de)創新,電子設備向著微型化、集成化、高(gāo)效率和高可靠性等方向發展,電子係統的集成度越來越(yuè)高,功率密度越來越大,對封裝材料的要求也越來越高。高溫電爐升降式箱式電動加熱爐功率微電(diàn)子封裝除承擔熱耗散外,還必須具有與芯片的材質(Si、GaAs)相匹(pǐ)配的線脹係數以(yǐ)及強度高、結構質量輕、工藝性好、成本低等特點。
高溫電(diàn)爐升降式箱式(shì)電動加熱爐陶瓷(cí)基板由陶瓷(cí)基片和布線金屬(shǔ)層兩部(bù)分組成,金屬布線是(shì)通過在陶瓷基片上濺射、蒸發沉積或印刷各種金屬(shǔ)材料來製備薄膜和厚膜電路。常用的陶瓷基片材料有氧化鋁、氮化鋁、氮化矽、氧化鈹等等,製備陶瓷基板的(de)方法有(yǒu)很多種,根據封裝結構和應用(yòng)要求(qiú),陶瓷基板可分為平麵陶瓷基板和多層陶瓷基板兩大(dà)類,按照(zhào)工藝分為DPC、DBC、AMB、TPC、TFC、LTCC、HTCC等。
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