高（gāo）溫真空爐是指熱處（chù）理工藝的全部和部分（fèn）在真空狀態下進行的。我國將真空劃分為低、中（zhōng）、高和超高真空。目（mù）前大多數真空熱處理爐的工作真（zhēn）空度在1.33~1.33×10ˉ³Pa。 高（gāo）溫真空爐幾乎可實現全部熱處理工藝，如（rú）淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還（hái）可以進行真空釺（qiān）焊、燒結、表麵處理等。真空熱處理爐熱效率高，可實現快速升溫和降溫，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表麵的磷屑，並有脫（tuō）脂除氣等作用，從而達到表麵光亮淨化的效（xiào）果。一般來說，被處理的工件在爐內加（jiā）熱緩慢，內熱（rè）溫差較小，熱應力（lì）小，因而變形小。產品合格率高。可降低成本，有除氣作用，從而提高了工作的機（jī）械性能和使用壽命。工作環境好，操作（zuò）安全，沒有（yǒu）汙（wū）染和公害（hài）。被處理的工件沒有（yǒu）氫脆危險，對鈦材和難熔金屬殼防止表麵氫脆，真空熱處理（lǐ）工藝的穩定性和重複性好。這一係列（liè）的優點，開發（fā）真空熱處理設（shè）備和工（gōng）藝被越（yuè）來越重視和應（yīng）用越來越（yuè）廣